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分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

分子泵轴承为什么会烧毁

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

　　解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

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分子泵的转速可达到10000r/min~50000r/min，如果直接抽大气，气流会对分子泵造成不可逆的损伤甚至报废。分子泵无法直接将气体压缩到常压，即无法直接对大气排气。基于分子泵的工作原理，在开启分子泵前必须配置一台辅助前级泵。

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安裝常见问题：

①、安裝前要查验分子泵运送中是不是被毁坏。

②、开启泵高真空泵端法兰盖板，戴好胶手套，转动涡轮增压电机转子，应旋转灵便，无异常情况。

③、安裝自然环境应合乎技术标准和真空泵卫生要求。

④、确定安全防护网已安裝，特殊情况下订制安全防护网。

⑤、确定已装进润滑脂。

⑥、安裝方位：油绳润化：垂直、水准